株式会社アルプスエンジニアリング

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マイクロブラスト加工 マイクロブラスト装置、並びに露光機や現像機などの周辺装置を開発し、お客様のニーズに合わせた設備・装置を製造いたします。また、世界に誇る最新鋭専用工場を設置し、試作から量産まで幅広く受託加工を承ります。

世界に先駆けて当社が実用化した「マイクロブラスト」

マイクロブラストは当社が、世界に先駆けて実用化に成功しました。均一で微細な精密加工を行うことができます。

半導体関連部品、電子部品などの用途として脆性材料であるガラス・セラミック・シリコン・ウエハ・カーボン等への微細加工に最適です。

● マイクロブラストとは
マイクロブラストとは、紫外線硬化性樹脂フィルムをラミネートしたワークを、露光・現像によりフォトリソ処理した後、微細研磨材を制御コントロールして吹き付けて加工する技術です。この技術は、20年前からの装置及び加工技術開発と、高性能なレジストフィルムの発達により進化してきました。
従来、ケミカルエッチングではガラス、ステンレスといった限られた素材しか加工できませんでしたが、近年、電子材料に多用されているファインセラミックスなど、物理的加工しかできない新素材に対する新しい加工法として注目を浴びています。
  1. ラミネート
    ラミネート
    Laminator
  2. 露光
    露光
    Exporsure
  3. 現像
    現像
    Development
  4. ブラスト加工
    ブラスト加工
    Blast
● マイクロブラストの発祥
当社のコア技術は、精密機械装置などの設計製作とそれを用いて合理的なプロセス開発を行うエンジニアリング事業です。
その中から、プラズマディスプレイ背面板リブ加工などのお客様からの要望により、古くから砂を風によって打ちつけて加工する旧来技術を、ミクロンオーダー加工技術に進化させました。
また、表面改質では、カーボンナノチューブ電子発生効率アップや導光板金型へのグラデーション加工などの最先端技術への応用等にも成功しました。 このマイクロブラストの名称は、当社が提唱した用語が業界用語となりました。

マイクロブラスト装置の特長

1. 直圧式(加圧式)
直圧式を採用し安定した噴射が可能です。
サクション式に比べ、加工性、コントロール性が高くなります。
2. サイクロン式 研磨材循環機構
高性能サイクロンにより、高い分級率で加工した切削くずや研磨材の破片は遠心分離され、選択された研磨材が循環します。
3. スクリューフィーダー式 研磨材供給機構
スクリューフィーダーにより研磨材を供給します。フィーダー回転数を制御するため、再現性に優れ、常に適格な研磨材を供給できます。
4.ノズル形状
加工形状、目的に合ったノズルを選定することで、面加工の均一性や微細穴加工等に最適化することが可能です。
5. パソコン制御 (BSP-50Dシリーズ)
設定が難しいシーケンス制御に比べ、誰にでも簡単にパソコンから制御情報を入力でき、また、加工条件のメモリーが容易です。

> 装置について詳しくはこちら

加工精度

最小線幅
最小穴径
アスペクト比
表面粗さ
…… 40μm ±5μm
…… 30μm ±5μm
…… 1:1.5
…… Ra 0.1μm
※上記の数値は参考数値です。各加工の条件により異なります。
b. 直圧式(加圧式)構造
2. サイクロン式構造
BSP-50D パソコン操作画面

マイクロブラスト加工用途

その他、セラミック吸着板、ウエハ固定板&吸着板、動圧軸受表面加工、燃料電池用カーボンセパレータ加工、電極面の研掃、プリント基板の表面段付加工、有機ELキャップガラス、薄板ガラス、強化ガラス等。

加工対象

  1. ガラス

  2. シリコンウエハ

  3. セラミック

  4. 導光板用金型

  5. 燃料電池用カーボンセパレータ

  6. 有機EL用封止ガラス

加工種類

  1. 凸形状(リブ)

  2. 凹形状(封止ガラス)

  3. 貫通穴

  4. ピン立て

  5. 突起2段

マイクロブラスト加工のご相談

加工ご希望の方、可能な範囲でご希望の加工内容についてご相談ください。また、加工内容と一緒に下記を添付して下さい。

【例】
1.加工品図面、要求寸法精度
2.材料の種類
3.加工要求形状:多少のテーパ状になるので許容範囲
4.加工の目的:試作開発、委託加工、装置導入等
5.その他注意事項

※開示できない場合は、その旨をお伝えいただければ問題ありません。

詳しくは、「㈱アルプスエンジニアリング 営業部」までお問い合わせください。

お問い合わせ
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