マイクロブラスト加工事例詳細
CASE
加工事例
加工事例
Si ウェハ微細加工
2021年6月20日
材 料
Si ウェハ
形 状
ザグリ溝・穴混在
ワークサイズ
φ100
形状サイズ
溝幅0.05mm／穴径0.2mm
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